电子工业VOCs废气主要来自于半导体设备、电子元器件、电子组件、平板显示器、整机机壳的表面涂层工艺使用的溶剂型涂料，清洗工艺使用有机脱脂剂、脱水剂，感光成像工艺中的光刻胶稀释剂、显影剂、脱胶剂、液态阻焊膜剂、去膜剂等使用有机溶剂的工艺环节。电子工业行业涉及VOCs产生较多的主要是光伏制造和电子元件制造。那电子工业VOCs废气如何治理呢？

      电子工业废气VOCs排放种类多、组分复杂，通常具有排放流量大、浓度低的特点，且常含有酸性气体、碱性气体和一些有毒气体。根据电子工业车间环境的不同，采用的核心废气治理技术其中：

1、水性涂料工艺废气：采用喷淋吸收工艺进行处理。

2、含非水溶性VOCs废气：不得仅采用水或水溶液喷淋吸收方式处理。 

3、溶剂型涂装工序废气：采用喷淋吸收工艺进行预处理，去除漆雾。

4、中、低浓度VOCs废气：采用“吸附浓缩-再生回收”或“吸附浓缩-燃烧”等组合技术处理。 

5、高浓度VOCs废气：优先采用冷凝、吸附回收等技术，并辅以燃烧技术实现达标排放及VOCs减排。

   ‌  复杂的电子工业VOCs废气治理方案一般采用组合式处理系统‌，结合多种处理技术，如预处理、活性炭吸附和催化燃烧等，以满足复杂废气处理需求。 这些方法各有优势，应根据废气浓度、成分和处理需求选择合适的技术。通过有效的废气治理措施，可以降低VOCs废气的排放浓度，达到国家和地方的排放标准，从而保护环境、净化空气，并保障工作人员的健康‌。